红星市火车站,熟悉的站台,熟悉的离别场景。
与上次的仓促不同,这次郑伊玲的情绪很稳定。
她帮付成整理好衣领,小声叮嘱:“到了燕京就给我写信,别担心我,这次我会照顾好自己。”
付成点点头,捏了捏她的手:“我给你留了些钱,别省着。另外,我从旧书摊给你淘了几本会计学的专业书,你先看着。记住,你是我未来的首席财务官,不能掉队。”
郑伊玲用力点头,笑了。
火车鸣笛,缓缓开动。
“磁场增强型p刻蚀技术……”
付成坐在靠窗的位置,咀嚼着这个名词。
秦雪,那个好强的化学系才女,果然不是省油的灯。
她不仅擦了他的黑板,还把他“脉冲多极磁场”的内核思想,嫁接到了她们原本的电容耦合等离子体(p)技术上。
p技术是主流,成熟,但有瓶颈。
付成的“解耦”思想是超前,但需要从零开始,风险极高。
秦雪很聪明,她取了个巧,用磁场来“增强”p,而不是像付成那样,用磁场来“约束”和“解耦”。
这样做,既蹭了新思想的热度,又站在了成熟技术的肩膀上,听起来似乎更稳妥,更容易出成果。
一旦她的方案通过立项,不仅钱立人教授申请的五千块经费会被抢走,连djs-130的机时、实验室的使用权,都可能被她“合理”地挤占。
付成闭上眼睛,脑海中,25点的智力和“知识推演”功能留下的海量数据开始运转。他迅速构建出秦雪方案的技术模型。
几分钟后,他睁开眼,冷笑道。
“一个华而不实的缝合怪罢了。”
用一个简单的静态磁场去“增强”p,看似提高了等离子体密度,但实际上会引发更严重的“边缘效应”和“磁阴影”问题。
刻蚀出来的沟槽,侧壁不是垂直的,而是倾斜的,甚至呈弧形。
对于追求高深宽比和垂直度的微电子领域来说,这是有遐疵的。
秦雪只看到了“增强”,却没看到“增强”带来的“畸变”。
经过一天一夜的颠簸,火车抵达燕京。
付成直接从火车站打车,史无前例地奢侈了一把,直奔华清大学。
他冲进实验室时,钱立人教授正带着张伟和孙涛两个师兄,围着一堆草图唉声叹气。
“教授,我回来了。”
“付成!”钱立人看到他,象是看到了主心骨,“你可算回来了!你看看这个!”
他把一份文档拍在桌上,正是秦雪项目组的立项申请书。
付成拿起来,快速扫了一遍,和他火车上推演的几乎一模一样。
“一群蠢货!”师兄张伟气得直骂,“这不就是偷了我们的想法吗?太无耻了!”
“现在骂人没用。”付成把申请书放下,“她们的方案什么时候评审?”
“后天下午,就在工字厅的会议室。”钱立人愁眉不展,“我已经找过孙主任了,但孙主任说,学术上的事,要按流程来,谁的方案好,就支持谁。秦雪她们那边,有化学系的赵汝成教授力挺,据说已经做出了初步的实验样品,深宽比达到了6:1。”
深宽比6:1的样品?付成眉头一皱。这不对劲。按照他的推演,秦雪的方案最多只能做到4:1,再高就会出现严重的形变。
除非……
“陈默呢?”付成问道。
“在计算机房,还在跑我们的仿真数据。”
“走,我们去找他。”付成当机立断,“我们的优势,就是理论和仿真的完全性。我们必须拿出碾压性的仿真结果,让评审会上的专家们一眼就看出,谁才是真正的未来。”
计算机房里,陈默双眼布满血丝,正对着一排排跳动的数据发呆。
他们的仿真模型,在仿真高深宽比刻蚀时,总是在某个临界点出现“等离子体逃逸”现象,导致结果发散。
这正是叶文洁之前指出的理论漏洞。
“陈默,把叶文洁给我们的那套‘二级绝热不变量方程’调出来。”付成坐到操作台前。
“试过了,加进去之后计算量暴增,而且还是不稳定。”陈默疲惫地说。
“不是直接加,是做成一个‘约束补丁’。”付成的双手在键盘上敲得飞快,“你看,我们不需要全程仿真粒子的二级运动,那会把djs-130的cpu跑到冒烟。我们只需要在仿真的每一个时间步长里,用这个方程去校正等离子体边缘的粒子逃逸概率。这就象给我们的模型打上一个‘防漏补丁’!”
这个思路,让陈默的眼睛瞬间亮了。
他立刻明白了付成的意图,两人迅速投入到修改代码的工作中。
整整一天一夜,付成和陈默几乎没有合眼。
赵卫东负责给他们送饭送水,钱立人教授则坐镇实验室,协调所有资源。
终于,在评审会开始前的那个上午,新的仿真程序跑通了。
当结果以曲线图的形式打印出来时,在场的所有人都屏住了呼吸。
屏幕上,代表等离子体密度的曲线,被无形的磁场约束成一个完美的平顶,均匀地复盖在晶圆片上方。
代表刻蚀深度的曲线,笔直地向下延伸,轻松突破了10:1、15:1,甚至在20:1的深宽比下,侧壁的垂直度依然保持在898度到902度之间。
“成功了……我们成功了!”陈默激动得声音都在颤斗。
钱立人教授扶着桌子,看着那张完美的仿真图,老泪纵横。
付成长长地舒了一口气,正准备去洗把脸,系办公室的王老师却匆匆跑了进来。
“钱教授,付成同学!快,孙主任让你们马上去一趟!”王老师神色古怪,手里拿着一个牛皮纸大信封。
“又出什么事了?”钱立人心里咯噔一下。
“不是坏事,好象是好事……天大的好事!”王老师把信封递过来,上面赫然盖着一个红色的、印着国徽和“华夏科学技术委员会”字样的公章。
“这里面……是一封邀请函。”王老师的声音带着颤音,“邀请你们的项目组,参加下周在西山宾馆举行的‘青年学者前沿科技闭门研讨会’。”
“什么?”钱立人一把抢过信封,手都在抖。
这可不是校级的评审会,这是国家级的舞台!
付成也愣住了。
他想不通,自己的项目八字还没一撇,怎么会惊动到这个层级的部门?
他打开信封,抽出里面的邀请函。
在受邀人名单里,除了钱立人和他的名字,他还看到了一个意想不到的名字。
特邀观察员:物理系,叶文洁。
就在这时,办公室的电话响了。
王老师接起电话,听了几句,脸色变得很古怪。
他放下电话,看着付成,艰难地咽了口唾沫。
“付成同学,刚才是化学系赵汝成教授打来的电话。他说……他说秦雪同学的实验样品,在做连续性测试的时候,炸了。整个真空反应室都报废了。”