李墨舟和王敏东两人穿过几道门，换上白色的无尘服，进到了一个巨大的无尘车间。
这个车间里摆满了各种奇形怪状的机器，到处都是嗡嗡的设备运转声和闪烁的指示灯。空气里微微有一股臭氧的特殊味道。
王敏东指著车间正中央一个被各种管线和支架包围的庞然大物。
“李总，你看，这就是我们的euv光刻机样机。”王敏东的语气里带着一种又爱又恨的复杂感情。
李墨舟点点头，单手叉著腰，仔细打量着眼前的设备。
王敏东继续介绍道：“这台机器，主要分三个大块。第一个是光源，就是产生这种极紫外光的部件。我们用的是固体激光器，去打一个很小的锡液滴，让它瞬间变成等离子体，然后发光。这个光源，我们从国内一家研究所采购的，性能嘛，勉强够用，功率和稳定性都还行。”
他顿了顿，又指了指设备下方一个看起来很精密复杂的平台。“这个是工件台，就是放硅片的那个台子。要求精度特别高，移动的时候不能有一点点抖动。这个也是国内合作单位做的，经过我们自己的改造，对准精度也还凑合，能用。”
说到这里，王敏东的脸色变得难看起来，他指著设备中间那些镜片一样的东西，长长叹了口气。
“问题就出在这个光学系统上。李总，你看这些镜子。因为极紫外光会被绝大多数材料吸收，连空气都不能过，所以整个光路必须是真空的，而且不能用我们平时见到的那种玻璃透镜，只能用反射镜。”
“我们现在用的这个实验系统，是钼和硅两种材料，一层一层镀上去，镀个几十上百层，形成一个多层膜反射镜。但是，这个性能差得太远了。”
“差在哪里？”李墨舟问道。
“两个地方。第一，反射率太低了。”王敏东竖起一根手指，满脸的愁容，“我们现在做出来的反射镜，反射率最高只有61。”
“一个光刻机里有十几面这样的反射镜，光在里面反射来反射去，每反射一次就损失一小半，到最后照到硅片上的光就没剩多少了，曝光要花很长时间，效率太低了。平，能做到70以上，别小看这百分之十，十几次反射下来，差距就是天壤之别。”
“第二，就是精度不够。这个镜子的表面要做得无比光滑平整，差一点点都不行。我们现在做出来的镜子，表面还是不够平，光反射之后，聚焦就不准了，刻出来的线条就歪歪扭扭的。”
王敏东越说越激动，指著旁边另一个用防尘布盖著的设备架说：“我们也不是没想过别的办法。那边还有一个实验性的光学系统，叫光子筛。”
“原理跟小孔成像差不多，就是在个不透光的薄膜上，刻上好多好多纳米级别的小孔，让光通过这些小孔衍射，然后聚焦。理论上，这个东西可以做得比反射镜精度更高。但是”
他走过去，一把掀开防尘布，露出了一个固定在支架上的，巴掌大小的金属圆片。
“但是我们做出来的样品，精度更差，光学效率低得没法看。这条路，我们感觉也走不通。”王敏东的声音里充满了绝望。
李墨舟走了过去，停在了那个光子筛样品前面。他没有说话，只是静静的看着。
在王敏东他们眼里，李墨舟只是在观察一个失败的样品。但实际上，李墨舟的神识已经像一张无形的大网，瞬间笼罩了整个光子筛。
他的感知，深入到了纳米级别的微观世界，探知到了光子筛上密密麻麻的微结构。
“有意思”李墨舟在心里自言自语。
“有装好了光子筛的试验装置吗？”他回过头，“启动一下，实际测试一遍给我看看。”
“有的，李总这边来。”王敏东赶紧引路。
隔着防爆玻璃，众人完成了一次光子筛试验光刻机的光刻实验。
其他人只有用眼睛去看，但李墨舟却在用神识感知了光刻的完整过程。
“原来是这样”
在他的神识感知中，光子筛上的小孔，就像一个巨大广场上排列整齐的士兵方阵，每一个小孔之间的距离都是一模一样的。这种“等间距矩形分布”，看起来很规整，但问题也恰恰出在这里。。因为小孔间距完全一样，从相邻小孔衍射出来的光波，发生了严重的干涉。就像两排水波迎面撞上，互相抵消了。
神识清晰的告诉他，大量的光能就这么白白浪费掉了，原本设计时计算的光学效率有65，现在实际上连20都不到。
接着，他的神识又聚焦到了每一个小孔的孔径上。他发现，所有的小孔，不管是中心的还是边缘的，直径都一模一样，都是15纳米。
“这也不对啊。”李墨舟的内心独白在继续。
他能感知到一束极紫外光束，并不是一根完美的直线，它本身是有一定的发散角的。当这束光照射到光子筛上时，边缘部分的光线和中心部分的光线，入射角度是略有不同的。
这就产生了波长色散，简单说，就是不同角度的光，聚焦的时候会跑到不同的点上去。而这些统一孔径的小孔，根本没有考虑到这个问题。
结果就是，从边缘小孔通过的光，聚焦的点根本就不一致，导致图像边缘非常模糊，这对几纳米制程光刻工艺来说，是致命的。
李墨舟收回了神识，他已经完全明白了问题所在。他转过身，看着一脸沮丧的王敏东。
“王博士，你们这个光子筛，设计图纸能给我看看吗？还有，给我拿张纸和笔。”
王敏东愣了一下，虽然不明白李总要干什么，但还是赶紧让人去拿了图纸和纸笔。
李墨舟接过纸笔，没有去看那叠厚厚的图纸，直接在白纸上画了起来。
他一边画，一边说：“你们看，现在这个孔的排列方式，是等间距的，对吧？这样不行。光会干涉，自己跟自己打架，能量都抵消了。要改一改。”
他的笔尖在纸上飞快地移动，画出了一系列的点，这些点不再是等距的，而是中间密集，越往外越稀疏。
“要按照余弦规律来分布。简单说，就是让这些孔的间距，像一个余弦函数的曲线一样变化。这样一来，大部分衍射的光波就能互相加强，而不是互相抵消，光学效率自然就上去了。”
王敏东和周围几个凑过来的技术员都看呆了，他们看着李墨舟画的草图，脑子里飞快的转着。这个思路，他们从来没想过。
李墨舟没有停下，继续说道：“还有一个问题，孔的直径不能都一样。光束是有发散角的，边缘的光和中心的光，要让它们最后都聚到一个点上，孔径就必须做成渐变的。
他又在纸上标注起来：“你们看，可以这样改，最中心的孔，直径做到12纳米。然后越往外，孔径越大，一直到最边缘的孔，直径做到18纳米。这样搞一个渐变，就能补偿波长色散带来的聚焦偏差。这样改，精度问题不就解决了？”
王敏东拿着那张画得潦草但思路清晰的纸，手都开始发抖了。他感觉一扇全新的大门在自己面前被打开了。这些问题他们不是没想过，但从来没有像李墨舟这样，一针见血，并且直接给出了一个完整又清晰的解决方案。
李墨舟看着他们震惊的表情，又问道：“你们这个光子筛，是用什么工艺做出来的？带我去看看。”
李墨舟和王敏东两人穿过几道门，换上白色的无尘服，进到了一个巨大的无尘车间。
这个车间里摆满了各种奇形怪状的机器，到处都是嗡嗡的设备运转声和闪烁的指示灯。空气里微微有一股臭氧的特殊味道。
王敏东指著车间正中央一个被各种管线和支架包围的庞然大物。
“李总，你看，这就是我们的euv光刻机样机。”王敏东的语气里带着一种又爱又恨的复杂感情。
李墨舟点点头，单手叉著腰，仔细打量着眼前的设备。
王敏东继续介绍道：“这台机器，主要分三个大块。第一个是光源，就是产生这种极紫外光的部件。我们用的是固体激光器，去打一个很小的锡液滴，让它瞬间变成等离子体，然后发光。这个光源，我们从国内一家研究所采购的，性能嘛，勉强够用，功率和稳定性都还行。”
他顿了顿，又指了指设备下方一个看起来很精密复杂的平台。“这个是工件台，就是放硅片的那个台子。要求精度特别高，移动的时候不能有一点点抖动。这个也是国内合作单位做的，经过我们自己的改造，对准精度也还凑合，能用。”
说到这里，王敏东的脸色变得难看起来，他指著设备中间那些镜片一样的东西，长长叹了口气。
“问题就出在这个光学系统上。李总，你看这些镜子。因为极紫外光会被绝大多数材料吸收，连空气都不能过，所以整个光路必须是真空的，而且不能用我们平时见到的那种玻璃透镜，只能用反射镜。”
“我们现在用的这个实验系统，是钼和硅两种材料，一层一层镀上去，镀个几十上百层，形成一个多层膜反射镜。但是，这个性能差得太远了。”
“差在哪里？”李墨舟问道。
“两个地方。第一，反射率太低了。”王敏东竖起一根手指，满脸的愁容，“我们现在做出来的反射镜，反射率最高只有61。”
“一个光刻机里有十几面这样的反射镜，光在里面反射来反射去，每反射一次就损失一小半，到最后照到硅片上的光就没剩多少了，曝光要花很长时间，效率太低了。平，能做到70以上，别小看这百分之十，十几次反射下来，差距就是天壤之别。”
“第二，就是精度不够。这个镜子的表面要做得无比光滑平整，差一点点都不行。我们现在做出来的镜子，表面还是不够平，光反射之后，聚焦就不准了，刻出来的线条就歪歪扭扭的。”
王敏东越说越激动，指著旁边另一个用防尘布盖著的设备架说：“我们也不是没想过别的办法。那边还有一个实验性的光学系统，叫光子筛。”
“原理跟小孔成像差不多，就是在个不透光的薄膜上，刻上好多好多纳米级别的小孔，让光通过这些小孔衍射，然后聚焦。理论上，这个东西可以做得比反射镜精度更高。但是”
他走过去，一把掀开防尘布，露出了一个固定在支架上的，巴掌大小的金属圆片。
“但是我们做出来的样品，精度更差，光学效率低得没法看。这条路，我们感觉也走不通。”王敏东的声音里充满了绝望。
李墨舟走了过去，停在了那个光子筛样品前面。他没有说话，只是静静的看着。
在王敏东他们眼里，李墨舟只是在观察一个失败的样品。但实际上，李墨舟的神识已经像一张无形的大网，瞬间笼罩了整个光子筛。
他的感知，深入到了纳米级别的微观世界，探知到了光子筛上密密麻麻的微结构。
“有意思”李墨舟在心里自言自语。
“有装好了光子筛的试验装置吗？”他回过头，“启动一下，实际测试一遍给我看看。”
李墨舟和王敏东两人穿过几道门，换上白色的无尘服，进到了一个巨大的无尘车间。
这个车间里摆满了各种奇形怪状的机器，到处都是嗡嗡的设备运转声和闪烁的指示灯。空气里微微有一股臭氧的特殊味道。
王敏东指著车间正中央一个被各种管线和支架包围的庞然大物。
“李总，你看，这就是我们的euv光刻机样机。”王敏东的语气里带着一种又爱又恨的复杂感情。
李墨舟点点头，单手叉著腰，仔细打量着眼前的设备。
王敏东继续介绍道：“这台机器，主要分三个大块。第一个是光源，就是产生这种极紫外光的部件。我们用的是固体激光器，去打一个很小的锡液滴，让它瞬间变成等离子体，然后发光。这个光源，我们从国内一家研究所采购的，性能嘛，勉强够用，功率和稳定性都还行。”
他顿了顿，又指了指设备下方一个看起来很精密复杂的平台。“这个是工件台，就是放硅片的那个台子。要求精度特别高，移动的时候不能有一点点抖动。这个也是国内合作单位做的，经过我们自己的改造，对准精度也还凑合，能用。”
说到这里，王敏东的脸色变得难看起来，他指著设备中间那些镜片一样的东西，长长叹了口气。
“问题就出在这个光学系统上。李总，你看这些镜子。因为极紫外光会被绝大多数材料吸收，连空气都不能过，所以整个光路必须是真空的，而且不能用我们平时见到的那种玻璃透镜，只能用反射镜。”
“我们现在用的这个实验系统，是钼和硅两种材料，一层一层镀上去，镀个几十上百层，形成一个多层膜反射镜。但是，这个性能差得太远了。”
“差在哪里？”李墨舟问道。
“两个地方。第一，反射率太低了。”王敏东竖起一根手指，满脸的愁容，“我们现在做出来的反射镜，反射率最高只有61。”
“一个光刻机里有十几面这样的反射镜，光在里面反射来反射去，每反射一次就损失一小半，到最后照到硅片上的光就没剩多少了，曝光要花很长时间，效率太低了。先进的水平，能做到70以上，别小看这百分之十，十几次反射下来，差距就是天壤之别。”
“第二，就是精度不够。这个镜子的表面要做得无比光滑平整，差一点点都不行。我们现在做出来的镜子，表面还是不够平，光反射之后，聚焦就不准了，刻出来的线条就歪歪扭扭的。”
王敏东越说越激动，指著旁边另一个用防尘布盖著的设备架说：“我们也不是没想过别的办法。那边还有一个实验性的光学系统，叫光子筛。”
“原理跟小孔成像差不多，就是在个不透光的薄膜上，刻上好多好多纳米级别的小孔，让光通过这些小孔衍射，然后聚焦。理论上，这个东西可以做得比反射镜精度更高。但是”
他走过去，一把掀开防尘布，露出了一个固定在支架上的，巴掌大小的金属圆片。
“但是我们做出来的样品，精度更差，光学效率低得没法看。这条路，我们感觉也走不通。”王敏东的声音里充满了绝望。
李墨舟走了过去，停在了那个光子筛样品前面。他没有说话，只是静静的看着。
在王敏东他们眼里，李墨舟只是在观察一个失败的样品。但实际上，李墨舟的神识已经像一张无形的大网，瞬间笼罩了整个光子筛。
他的感知，深入到了纳米级别的微观世界，探知到了光子筛上密密麻麻的微结构。
“有意思”李墨舟在心里自言自语。
“有装好了光子筛的试验装置吗？”他回过头，“启动一下，实际测试一遍给我看看。”
李墨舟和王敏东两人穿过几道门，换上白色的无尘服，进到了一个巨大的无尘车间。
这个车间里摆满了各种奇形怪状的机器，到处都是嗡嗡的设备运转声和闪烁的指示灯。空气里微微有一股臭氧的特殊味道。
王敏东指著车间正中央一个被各种管线和支架包围的庞然大物。
“李总，你看，这就是我们的euv光刻机样机。”王敏东的语气里带着一种又爱又恨的复杂感情。
李墨舟点点头，单手叉著腰，仔细打量着眼前的设备。
王敏东继续介绍道：“这台机器，主要分三个大块。第一个是光源，就是产生这种极紫外光的部件。我们用的是固体激光器，去打一个很小的锡液滴，让它瞬间变成等离子体，然后发光。这个光源，我们从国内一家研究所采购的，性能嘛，勉强够用，功率和稳定性都还行。”
他顿了顿，又指了指设备下方一个看起来很精密复杂的平台。“这个是工件台，就是放硅片的那个台子。要求精度特别高，移动的时候不能有一点点抖动。这个也是国内合作单位做的，经过我们自己的改造，对准精度也还凑合，能用。”
说到这里，王敏东的脸色变得难看起来，他指著设备中间那些镜片一样的东西，长长叹了口气。
“问题就出在这个光学系统上。李总，你看这些镜子。因为极紫外光会被绝大多数材料吸收，连空气都不能过，所以整个光路必须是真空的，而且不能用我们平时见到的那种玻璃透镜，只能用反射镜。”
“我们现在用的这个实验系统，是钼和硅两种材料，一层一层镀上去，镀个几十上百层，形成一个多层膜反射镜。但是，这个性能差得太远了。”
“差在哪里？”李墨舟问道。
“两个地方。第一，反射率太低了。”王敏东竖起一根手指，满脸的愁容，“我们现在做出来的反射镜，反射率最高只有61。”
“一个光刻机里有十几面这样的反射镜，光在里面反射来反射去，每反射一次就损失一小半，到最后照到硅片上的光就没剩多少了，曝光要花很长时间，效率太低了。平，能做到70以上，别小看这百分之十，十几次反射下来，差距就是天壤之别。”
“第二，就是精度不够。这个镜子的表面要做得无比光滑平整，差一点点都不行。我们现在做出来的镜子，表面还是不够平，光反射之后，聚焦就不准了，刻出来的线条就歪歪扭扭的。”
王敏东越说越激动，指著旁边另一个用防尘布盖著的设备架说：“我们也不是没想过别的办法。那边还有一个实验性的光学系统，叫光子筛。”
“原理跟小孔成像差不多，就是在个不透光的薄膜上，刻上好多好多纳米级别的小孔，让光通过这些小孔衍射，然后聚焦。理论上，这个东西可以做得比反射镜精度更高。但是”
他走过去，一把掀开防尘布，露出了一个固定在支架上的，巴掌大小的金属圆片。
“但是我们做出来的样品，精度更差，光学效率低得没法看。这条路，我们感觉也走不通。”王敏东的声音里充满了绝望。
李墨舟走了过去，停在了那个光子筛样品前面。他没有说话，只是静静的看着。
在王敏东他们眼里，李墨舟只是在观察一个失败的样品。但实际上，李墨舟的神识已经像一张无形的大网，瞬间笼罩了整个光子筛。
他的感知，深入到了纳米级别的微观世界，探知到了光子筛上密密麻麻的微结构。
“有意思”李墨舟在心里自言自语。
“有装好了光子筛的试验装置吗？”他回过头，“启动一下，实际测试一遍给我看看。”
李墨舟和王敏东两人穿过几道门，换上白色的无尘服，进到了一个巨大的无尘车间。
这个车间里摆满了各种奇形怪状的机器，到处都是嗡嗡的设备运转声和闪烁的指示灯。空气里微微有一股臭氧的特殊味道。
王敏东指著车间正中央一个被各种管线和支架包围的庞然大物。
“李总，你看，这就是我们的euv光刻机样机。”王敏东的语气里带着一种又爱又恨的复杂感情。
李墨舟点点头，单手叉著腰，仔细打量着眼前的设备。
王敏东继续介绍道：“这台机器，主要分三个大块。第一个是光源，就是产生这种极紫外光的部件。我们用的是固体激光器，去打一个很小的锡液滴，让它瞬间变成等离子体，然后发光。这个光源，我们从国内一家研究所采购的，性能嘛，勉强够用，功率和稳定性都还行。”
他顿了顿，又指了指设备下方一个看起来很精密复杂的平台。“这个是工件台，就是放硅片的那个台子。要求精度特别高，移动的时候不能有一点点抖动。这个也是国内合作单位做的，经过我们自己的改造，对准精度也还凑合，能用。”
说到这里，王敏东的脸色变得难看起来，他指著设备中间那些镜片一样的东西，长长叹了口气。
“问题就出在这个光学系统上。李总，你看这些镜子。因为极紫外光会被绝大多数材料吸收，连空气都不能过，所以整个光路必须是真空的，而且不能用我们平时见到的那种玻璃透镜，只能用反射镜。”
“我们现在用的这个实验系统，是钼和硅两种材料，一层一层镀上去，镀个几十上百层，形成一个多层膜反射镜。但是，这个性能差得太远了。”
“差在哪里？”李墨舟问道。
“两个地方。第一，反射率太低了。”王敏东竖起一根手指，满脸的愁容，“我们现在做出来的反射镜，反射率最高只有61。”
“一个光刻机里有十几面这样的反射镜，光在里面反射来反射去，每反射一次就损失一小半，到最后照到硅片上的光就没剩多少了，曝光要花很长时间，效率太低了。平，能做到70以上，别小看这百分之十，十几次反射下来，差距就是天壤之别。”
“第二，就是精度不够。这个镜子的表面要做得无比光滑平整，差一点点都不行。我们现在做出来的镜子，表面还是不够平，光反射之后，聚焦就不准了，刻出来的线条就歪歪扭扭的。”
王敏东越说越激动，指著旁边另一个用防尘布盖著的设备架说：“我们也不是没想过别的办法。那边还有一个实验性的光学系统，叫光子筛。”
“原理跟小孔成像差不多，就是在个不透光的薄膜上，刻上好多好多纳米级别的小孔，让光通过这些小孔衍射，然后聚焦。理论上，这个东西可以做得比反射镜精度更高。但是”
他走过去，一把掀开防尘布，露出了一个固定在支架上的，巴掌大小的金属圆片。
“但是我们做出来的样品，精度更差，光学效率低得没法看。这条路，我们感觉也走不通。”王敏东的声音里充满了绝望。
李墨舟走了过去，停在了那个光子筛样品前面。他没有说话，只是静静的看着。
在王敏东他们眼里，李墨舟只是在观察一个失败的样品。但实际上，李墨舟的神识已经像一张无形的大网，瞬间笼罩了整个光子筛。
他的感知，深入到了纳米级别的微观世界，探知到了光子筛上密密麻麻的微结构。
“有意思”李墨舟在心里自言自语。
“有装好了光子筛的试验装置吗？”他回过头，“启动一下，实际测试一遍给我看看。”
李墨舟和王敏东两人穿过几道门，换上白色的无尘服，进到了一个巨大的无尘车间。
这个车间里摆满了各种奇形怪状的机器，到处都是嗡嗡的设备运转声和闪烁的指示灯。空气里微微有一股臭氧的特殊味道。
王敏东指著车间正中央一个被各种管线和支架包围的庞然大物。
“李总，你看，这就是我们的euv光刻机样机。”王敏东的语气里带着一种又爱又恨的复杂感情。
李墨舟点点头，单手叉著腰，仔细打量着眼前的设备。
王敏东继续介绍道：“这台机器，主要分三个大块。第一个是光源，就是产生这种极紫外光的部件。我们用的是固体激光器，去打一个很小的锡液滴，让它瞬间变成等离子体，然后发光。这个光源，我们从国内一家研究所采购的，性能嘛，勉强够用，功率和稳定性都还行。”
他顿了顿，又指了指设备下方一个看起来很精密复杂的平台。“这个是工件台，就是放硅片的那个台子。要求精度特别高，移动的时候不能有一点点抖动。这个也是国内合作单位做的，经过我们自己的改造，对准精度也还凑合，能用。”
说到这里，王敏东的脸色变得难看起来，他指著设备中间那些镜片一样的东西，长长叹了口气。
“问题就出在这个光学系统上。李总，你看这些镜子。因为极紫外光会被绝大多数材料吸收，连空气都不能过，所以整个光路必须是真空的，而且不能用我们平时见到的那种玻璃透镜，只能用反射镜。”
“我们现在用的这个实验系统，是钼和硅两种材料，一层一层镀上去，镀个几十上百层，形成一个多层膜反射镜。但是，这个性能差得太远了。”
“差在哪里？”李墨舟问道。
“两个地方。第一，反射率太低了。”王敏东竖起一根手指，满脸的愁容，“我们现在做出来的反射镜，反射率最高只有61。”
“一个光刻机里有十几面这样的反射镜，光在里面反射来反射去，每反射一次就损失一小半，到最后照到硅片上的光就没剩多少了，曝光要花很长时间，效率太低了。平，能做到70以上，别小看这百分之十，十几次反射下来，差距就是天壤之别。”
“第二，就是精度不够。这个镜子的表面要做得无比光滑平整，差一点点都不行。我们现在做出来的镜子，表面还是不够平，光反射之后，聚焦就不准了，刻出来的线条就歪歪扭扭的。”
王敏东越说越激动，指著旁边另一个用防尘布盖著的设备架说：“我们也不是没想过别的办法。那边还有一个实验性的光学系统，叫光子筛。”
“原理跟小孔成像差不多，就是在个不透光的薄膜上，刻上好多好多纳米级别的小孔，让光通过这些小孔衍射，然后聚焦。理论上，这个东西可以做得比反射镜精度更高。但是”
他走过去，一把掀开防尘布，露出了一个固定在支架上的，巴掌大小的金属圆片。
“但是我们做出来的样品，精度更差，光学效率低得没法看。这条路，我们感觉也走不通。”王敏东的声音里充满了绝望。
李墨舟走了过去，停在了那个光子筛样品前面。他没有说话，只是静静的看着。
在王敏东他们眼里，李墨舟只是在观察一个失败的样品。但实际上，李墨舟的神识已经像一张无形的大网，瞬间笼罩了整个光子筛。
他的感知，深入到了纳米级别的微观世界，探知到了光子筛上密密麻麻的微结构。
“有意思”李墨舟在心里自言自语。
“有装好了光子筛的试验装置吗？”他回过头，“启动一下，实际测试一遍给我看看。”
李墨舟和王敏东两人穿过几道门，换上白色的无尘服，进到了一个巨大的无尘车间。
这个车间里摆满了各种奇形怪状的机器，到处都是嗡嗡的设备运转声和闪烁的指示灯。空气里微微有一股臭氧的特殊味道。
王敏东指著车间正中央一个被各种管线和支架包围的庞然大物。
“李总，你看，这就是我们的euv光刻机样机。”王敏东的语气里带着一种又爱又恨的复杂感情。
李墨舟点点头，单手叉著腰，仔细打量着眼前的设备。
王敏东继续介绍道：“这台机器，主要分三个大块。第一个是光源，就是产生这种极紫外光的部件。我们用的是固体激光器，去打一个很小的锡液滴，让它瞬间变成等离子体，然后发光。这个光源，我们从国内一家研究所采购的，性能嘛，勉强够用，功率和稳定性都还行。”
他顿了顿，又指了指设备下方一个看起来很精密复杂的平台。“这个是工件台，就是放硅片的那个台子。要求精度特别高，移动的时候不能有一点点抖动。这个也是国内合作单位做的，经过我们自己的改造，对准精度也还凑合，能用。”
说到这里，王敏东的脸色变得难看起来，他指著设备中间那些镜片一样的东西，长长叹了口气。
“问题就出在这个光学系统上。李总，你看这些镜子。因为极紫外光会被绝大多数材料吸收，连空气都不能过，所以整个光路必须是真空的，而且不能用我们平时见到的那种玻璃透镜，只能用反射镜。”
“我们现在用的这个实验系统，是钼和硅两种材料，一层一层镀上去，镀个几十上百层，形成一个多层膜反射镜。但是，这个性能差得太远了。”
“差在哪里？”李墨舟问道。
“两个地方。第一，反射率太低了。”王敏东竖起一根手指，满脸的愁容，“我们现在做出来的反射镜，反射率最高只有61。”
“一个光刻机里有十几面这样的反射镜，光在里面反射来反射去，每反射一次就损失一小半，到最后照到硅片上的光就没剩多少了，曝光要花很长时间，效率太低了。平，能做到70以上，别小看这百分之十，十几次反射下来，差距就是天壤之别。”
“第二，就是精度不够。这个镜子的表面要做得无比光滑平整，差一点点都不行。我们现在做出来的镜子，表面还是不够平，光反射之后，聚焦就不准了，刻出来的线条就歪歪扭扭的。”
王敏东越说越激动，指著旁边另一个用防尘布盖著的设备架说：“我们也不是没想过别的办法。那边还有一个实验性的光学系统，叫光子筛。”
“原理跟小孔成像差不多，就是在个不透光的薄膜上，刻上好多好多纳米级别的小孔，让光通过这些小孔衍射，然后聚焦。理论上，这个东西可以做得比反射镜精度更高。但是”
他走过去，一把掀开防尘布，露出了一个固定在支架上的，巴掌大小的金属圆片。
“但是我们做出来的样品，精度更差，光学效率低得没法看。这条路，我们感觉也走不通。”王敏东的声音里充满了绝望。
李墨舟走了过去，停在了那个光子筛样品前面。他没有说话，只是静静的看着。
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“有意思”李墨舟在心里自言自语。
“有装好了光子筛的试验装置吗？”他回过头，“启动一下，实际测试一遍给我看看。”
李墨舟和王敏东两人穿过几道门，换上白色的无尘服，进到了一个巨大的无尘车间。
这个车间里摆满了各种奇形怪状的机器，到处都是嗡嗡的设备运转声和闪烁的指示灯。空气里微微有一股臭氧的特殊味道。
王敏东指著车间正中央一个被各种管线和支架包围的庞然大物。
“李总，你看，这就是我们的euv光刻机样机。”王敏东的语气里带着一种又爱又恨的复杂感情。
李墨舟点点头，单手叉著腰，仔细打量着眼前的设备。
王敏东继续介绍道：“这台机器，主要分三个大块。第一个是光源，就是产生这种极紫外光的部件。我们用的是固体激光器，去打一个很小的锡液滴，让它瞬间变成等离子体，然后发光。这个光源，我们从国内一家研究所采购的，性能嘛，勉强够用，功率和稳定性都还行。”
他顿了顿，又指了指设备下方一个看起来很精密复杂的平台。“这个是工件台，就是放硅片的那个台子。要求精度特别高，移动的时候不能有一点点抖动。这个也是国内合作单位做的，经过我们自己的改造，对准精度也还凑合，能用。”
说到这里，王敏东的脸色变得难看起来，他指著设备中间那些镜片一样的东西，长长叹了口气。
“问题就出在这个光学系统上。李总，你看这些镜子。因为极紫外光会被绝大多数材料吸收，连空气都不能过，所以整个光路必须是真空的，而且不能用我们平时见到的那种玻璃透镜，只能用反射镜。”
“我们现在用的这个实验系统，是钼和硅两种材料，一层一层镀上去，镀个几十上百层，形成一个多层膜反射镜。但是，这个性能差得太远了。”
“差在哪里？”李墨舟问道。
“两个地方。第一，反射率太低了。”王敏东竖起一根手指，满脸的愁容，“我们现在做出来的反射镜，反射率最高只有61。”
“一个光刻机里有十几面这样的反射镜，光在里面反射来反射去，每反射一次就损失一小半，到最后照到硅片上的光就没剩多少了，曝光要花很长时间，效率太低了。平，能做到70以上，别小看这百分之十，十几次反射下来，差距就是天壤之别。”
“第二，就是精度不够。这个镜子的表面要做得无比光滑平整，差一点点都不行。我们现在做出来的镜子，表面还是不够平，光反射之后，聚焦就不准了，刻出来的线条就歪歪扭扭的。”
王敏东越说越激动，指著旁边另一个用防尘布盖著的设备架说：“我们也不是没想过别的办法。那边还有一个实验性的光学系统，叫光子筛。”
“原理跟小孔成像差不多，就是在个不透光的薄膜上，刻上好多好多纳米级别的小孔，让光通过这些小孔衍射，然后聚焦。理论上，这个东西可以做得比反射镜精度更高。但是”
他走过去，一把掀开防尘布，露出了一个固定在支架上的，巴掌大小的金属圆片。
“但是我们做出来的样品，精度更差，光学效率低得没法看。这条路，我们感觉也走不通。”王敏东的声音里充满了绝望。
李墨舟走了过去，停在了那个光子筛样品前面。他没有说话，只是静静的看着。
在王敏东他们眼里，李墨舟只是在观察一个失败的样品。但实际上，李墨舟的神识已经像一张无形的大网，瞬间笼罩了整个光子筛。
他的感知，深入到了纳米级别的微观世界，探知到了光子筛上密密麻麻的微结构。
“有意思”李墨舟在心里自言自语。
“有装好了光子筛的试验装置吗？”他回过头，“启动一下，实际测试一遍给我看看。”