“哦哦，好，李总这边请。”王敏东如梦初醒，赶紧带着李墨舟去了另一个加工车间。
李墨舟看到了正在工作的电子束光刻机和反应离子刻蚀机。
他的神识再次散开，笼罩了整个加工过程。
他的神识感觉到，电子束光刻机在往基底材料上加工时，高速的电子打到材料上，发生了散射。就像拿个很粗的水管往沙地上喷水，水花会溅到旁边去。
结果就是，本来想画得很近的两条线，因为电子散射互相影响，结果糊在了一起，或者变形了。
他又用神识去感知反应离子刻蚀的过程。
他发现，设备里用的气体，是纯的四氟化碳。他能感知到到，四氟化碳的等离子体，像一群饿狼一样，疯狂的攻击著材料，不仅向下挖，还向侧面乱啃。
结果就是，刻出来的小孔，孔壁不是光滑的，而是像锯齿一样，坑坑洼洼的。这也造成了孔壁也不是垂直的，而是倾斜的，有88度。
这对需要垂直入射的光来说，简直是致命的。很多光线直接就被这个倾斜的、粗糙的孔壁给反射到别处去了，根本无法按照设计的路径去衍射。
“工艺也有问题。”李墨舟皱起了眉头，对王敏东说。
“你们这个电子束光刻，邻近效应校正没做吧？你看刻出来的东西，边缘都是糊的。”
王敏东一惊，这是个很细节的问题，李总怎么一眼就看出来了？他有些不好意思地点点头：“是是没做，时间都花在反射镜系统上了，光子筛这边没怎么优化。”
“那做一个校正模型，把euv的波长、基底的材质这些参数输进去，让电脑自动计算每个点的电子束剂量。这不难吧？”
他又指著反应离子刻蚀机：“还有这个刻蚀，不能用纯的四氟化碳。你们在气体里加点氧气，比例大概是cf?比o?，3比1。氧气可以在侧壁形成一个保护层，让等离子体只能往下刻，不能乱啃旁边。这样孔壁的垂直度就能上来。”
“刻完之后，再加一道工序。用氩离子束去轰击表面，能量不用太高，50电子伏特就行，轰个30秒。这就像用极细的砂纸最后打磨一下，把孔壁上那些残留的原子和毛刺都给清理干净。”
李墨舟一口气说完了他感知到的所有问题和解决方案。他又指出了神识感知到的其他几个小问题，比如真空系统的某个泵的抽速不够，某个阀门的密封圈有微小的泄漏等等。
王敏东和他的团队成员们，已经从最初的震惊，变成了彻底的崇拜。
他们拿着本子，疯狂记录著李墨舟说的每一个字，生怕漏掉一个细节。
在他们眼里，这位年轻的李总，简直不是凡人，他对技术的理解，已经深入到了他们无法企及的原子层面。
几个星期之后，李墨舟正在办公室里看新车型的设计方案，办公室的门被敲响了。
王敏东几乎是冲进来的，他满脸通红，因为激动，连话都说不利索了。
“李李总！做做出来了！”
“什么做出来了？”李墨舟放下手里的平板，笑着问。
“光子筛！我们那个euv光刻机的光子筛光学系统，按照你的方案，做出来了！”王敏东把一份测试报告拍在李墨舟的桌子上，手指著上面的数据，声音都在颤抖。
“李总你看！！分辨率，根据初步测试，可以达到4纳米！”！我们这个，比他们还强了好几倍！我们做出来了，我们真的做出来了！”
李墨舟拿起报告，平静的看着上面的数据。一切都在他的预料之中。
他笑着站起来，拍了拍王敏东的肩膀。
“干得不错，王博士，你们团队所有人都辛苦了。这个月的奖金，我让财务给你们部门翻三倍。”
“谢谢李总！”王敏东激动得快要鞠躬了。
“别高兴得太早。”李墨舟的表情又恢复了严肃。
“光学系统只是第一步。接下来，马上把这套系统装到样机上，给我尽快用这台euv光刻机，把我们设计的先进工艺节点，给我跑通了。”
“要用我们自己的设备，造出我们自己的高性能芯片。”
这天，李墨舟正坐在办公室里，用电脑批阅著报表。
办公室的门被敲响了，声音听起来有点急。
“请进。”李墨舟头也没抬，眼睛还盯着屏幕上的曲线。
门开了，进来的是应龙微电子技术副总裁，马韦宏。
他快步走到李墨舟的办公桌前，脸上是一种混杂着兴奋和愁苦的表情。
“李总，那个光刻机，我们把工艺流程基本上跑通了。”
李墨舟这才把视线从电脑屏幕上移开，他看着马韦宏，示意他继续说下去。
“这台机器，太厉害了。它的精度实在是太高了。咱们国内现在最好的芯片代工厂，钟芯国际，他们从河兰asl公司买到的最好的浸没式duv光刻机，跟咱们这台比起来，那简直就是老掉牙的古董。”
马韦宏越说越激动，两只手在空中比划着，“我们用这台机器，基本上把等效5纳米的生产流程给摸索出来了。5纳米啊，李总，这在以前，我们想都不敢想。”
李墨舟点了点头，这个结果在他的预料之中。他设计的那个光子筛系统，理论上远不止这个水平。
他平静的问道：“基本上走通了？那就是说，还有问题没解决？”
马韦宏脸上的兴奋劲儿一下子就褪去了一半，他叹了口气，从口袋里掏出一张打印的照片，递了过去。
“李总您看，问题就出在这个良率上。现在我们的良率太低了，低得没法看。”
马韦宏指著照片上的一个小黑点，“您看这个点状缺陷。我们曝光到第十片晶圆，曝光完了之后，上面就会随机出现这种小黑点。这些点很小，直径大概在20到50纳米之间，但是只要有这么一个点，这个位置上的芯片就废了。”
李墨舟拿起照片，仔细看了看。照片是电子显微镜拍的，放大了很多倍，能清楚的看到一个不规则的黑色斑点，像是滴在白纸上的一滴墨水。
马韦宏接着说：“最奇怪的是，我们一开始以为是光子筛脏了，就按照流程，把光子筛拿出来做了等离子体清洁。”
“清洁完了装回去，头一两片晶圆确实是好的，一点问题没有。但是，只要生产到第五片、第六片，这种点状缺陷又开始冒出来了。”
“我们怀疑是不是真空腔体漏气了，可是我们反复检测了好几遍，真空度一直都维持在标准值，一点问题都没有。现在整个团队都卡在这里了，大家想破了脑袋也找不到原因。”
李墨舟放下照片，单手叉著腰，在办公室里慢慢的踱起步来。伍4看书 埂薪最全
马韦宏紧张的看着他，大气都不敢出。他知道，每次遇到这种看似无解的难题，最后能拿出办法的，只有眼前这个年轻得过分的李总。
“走，去现场看看。”过了好一会，李墨舟回身说道。
一行人换上密不透风的无尘服，戴上口罩和头套，经过好几道风淋门，才进入到晶圆厂最核心的区域——光刻区。
巨大的euv光刻机像一头沉默的钢铁巨兽，矗立在黄光灯的照射下，无数的管线和机械臂包裹着它神秘的核心。
李墨舟走到光刻机前，隔着观察窗，静静的注视著真空腔体的位置。
“哦哦，好，李总这边请。”王敏东如梦初醒，赶紧带着李墨舟去了另一个加工车间。
李墨舟看到了正在工作的电子束光刻机和反应离子刻蚀机。
他的神识再次散开，笼罩了整个加工过程。
他的神识感觉到，电子束光刻机在往基底材料上加工时，高速的电子打到材料上，发生了散射。就像拿个很粗的水管往沙地上喷水，水花会溅到旁边去。
结果就是，本来想画得很近的两条线，因为电子散射互相影响，结果糊在了一起，或者变形了。
他又用神识去感知反应离子刻蚀的过程。
他发现，设备里用的气体，是纯的四氟化碳。他能感知到到，四氟化碳的等离子体，像一群饿狼一样，疯狂的攻击著材料，不仅向下挖，还向侧面乱啃。
结果就是，刻出来的小孔，孔壁不是光滑的，而是像锯齿一样，坑坑洼洼的。这也造成了孔壁也不是垂直的，而是倾斜的，有88度。
这对需要垂直入射的光来说，简直是致命的。很多光线直接就被这个倾斜的、粗糙的孔壁给反射到别处去了，根本无法按照设计的路径去衍射。
“工艺也有问题。”李墨舟皱起了眉头，对王敏东说。
“你们这个电子束光刻，邻近效应校正没做吧？你看刻出来的东西，边缘都是糊的。”
王敏东一惊，这是个很细节的问题，李总怎么一眼就看出来了？他有些不好意思地点点头：“是是没做，时间都花在反射镜系统上了，光子筛这边没怎么优化。”
“那做一个校正模型，把euv的波长、基底的材质这些参数输进去，让电脑自动计算每个点的电子束剂量。这不难吧？”
他又指著反应离子刻蚀机：“还有这个刻蚀，不能用纯的四氟化碳。你们在气体里加点氧气，比例大概是cf?比o?，3比1。氧气可以在侧壁形成一个保护层，让等离子体只能往下刻，不能乱啃旁边。这样孔壁的垂直度就能上来。”
“刻完之后，再加一道工序。用氩离子束去轰击表面，能量不用太高，50电子伏特就行，轰个30秒。这就像用极细的砂纸最后打磨一下，把孔壁上那些残留的原子和毛刺都给清理干净。”
李墨舟一口气说完了他感知到的所有问题和解决方案。他又指出了神识感知到的其他几个小问题，比如真空系统的某个泵的抽速不够，某个阀门的密封圈有微小的泄漏等等。
王敏东和他的团队成员们，已经从最初的震惊，变成了彻底的崇拜。
他们拿着本子，疯狂记录著李墨舟说的每一个字，生怕漏掉一个细节。
在他们眼里，这位年轻的李总，简直不是凡人，他对技术的理解，已经深入到了他们无法企及的原子层面。
几个星期之后，李墨舟正在办公室里看新车型的设计方案，办公室的门被敲响了。
王敏东几乎是冲进来的，他满脸通红，因为激动，连话都说不利索了。
“李李总！做做出来了！”
“什么做出来了？”李墨舟放下手里的平板，笑着问。
“光子筛！我们那个euv光刻机的光子筛光学系统，按照你的方案，做出来了！”王敏东把一份测试报告拍在李墨舟的桌子上，手指著上面的数据，声音都在颤抖。
“李总你看！！分辨率，根据初步测试，可以达到4纳米！”！我们这个，比他们还强了好几倍！我们做出来了，我们真的做出来了！”
李墨舟拿起报告，平静的看着上面的数据。一切都在他的预料之中。
他笑着站起来，拍了拍王敏东的肩膀。
“哦哦，好，李总这边请。”王敏东如梦初醒，赶紧带着李墨舟去了另一个加工车间。
李墨舟看到了正在工作的电子束光刻机和反应离子刻蚀机。
他的神识再次散开，笼罩了整个加工过程。
他的神识感觉到，电子束光刻机在往基底材料上加工时，高速的电子打到材料上，发生了散射。就像拿个很粗的水管往沙地上喷水，水花会溅到旁边去。
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他又用神识去感知反应离子刻蚀的过程。
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结果就是，刻出来的小孔，孔壁不是光滑的，而是像锯齿一样，坑坑洼洼的。这也造成了孔壁也不是垂直的，而是倾斜的，有88度。
这对需要垂直入射的光来说，简直是致命的。很多光线直接就被这个倾斜的、粗糙的孔壁给反射到别处去了，根本无法按照设计的路径去衍射。
“工艺也有问题。”李墨舟皱起了眉头，对王敏东说。
“你们这个电子束光刻，邻近效应校正没做吧？你看刻出来的东西，边缘都是糊的。”
王敏东一惊，这是个很细节的问题，李总怎么一眼就看出来了？他有些不好意思地点点头：“是是没做，时间都花在反射镜系统上了，光子筛这边没怎么优化。”
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“刻完之后，再加一道工序。用氩离子束去轰击表面，能量不用太高，50电子伏特就行，轰个30秒。这就像用极细的砂纸最后打磨一下，把孔壁上那些残留的原子和毛刺都给清理干净。”
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王敏东和他的团队成员们，已经从最初的震惊，变成了彻底的崇拜。
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在他们眼里，这位年轻的李总，简直不是凡人，他对技术的理解，已经深入到了他们无法企及的原子层面。
几个星期之后，李墨舟正在办公室里看新车型的设计方案，办公室的门被敲响了。
王敏东几乎是冲进来的，他满脸通红，因为激动，连话都说不利索了。
“李李总！做做出来了！”
“什么做出来了？”李墨舟放下手里的平板，笑着问。
“光子筛！我们那个euv光刻机的光子筛光学系统，按照你的方案，做出来了！”王敏东把一份测试报告拍在李墨舟的桌子上，手指著上面的数据，声音都在颤抖。
“李总你看！！分辨率，根据初步测试，可以达到4纳米！”！我们这个，比他们还强了好几倍！我们做出来了，我们真的做出来了！”
李墨舟拿起报告，平静的看着上面的数据。一切都在他的预料之中。
他笑着站起来，拍了拍王敏东的肩膀。
“哦哦，好，李总这边请。”王敏东如梦初醒，赶紧带着李墨舟去了另一个加工车间。
李墨舟看到了正在工作的电子束光刻机和反应离子刻蚀机。
他的神识再次散开，笼罩了整个加工过程。
他的神识感觉到，电子束光刻机在往基底材料上加工时，高速的电子打到材料上，发生了散射。就像拿个很粗的水管往沙地上喷水，水花会溅到旁边去。
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他又用神识去感知反应离子刻蚀的过程。
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结果就是，刻出来的小孔，孔壁不是光滑的，而是像锯齿一样，坑坑洼洼的。这也造成了孔壁也不是垂直的，而是倾斜的，有88度。
这对需要垂直入射的光来说，简直是致命的。很多光线直接就被这个倾斜的、粗糙的孔壁给反射到别处去了，根本无法按照设计的路径去衍射。
“工艺也有问题。”李墨舟皱起了眉头，对王敏东说。
“你们这个电子束光刻，邻近效应校正没做吧？你看刻出来的东西，边缘都是糊的。”
王敏东一惊，这是个很细节的问题，李总怎么一眼就看出来了？他有些不好意思地点点头：“是是没做，时间都花在反射镜系统上了，光子筛这边没怎么优化。”
“那做一个校正模型，把euv的波长、基底的材质这些参数输进去，让电脑自动计算每个点的电子束剂量。这不难吧？”
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“刻完之后，再加一道工序。用氩离子束去轰击表面，能量不用太高，50电子伏特就行，轰个30秒。这就像用极细的砂纸最后打磨一下，把孔壁上那些残留的原子和毛刺都给清理干净。”
李墨舟一口气说完了他感知到的所有问题和解决方案。他又指出了神识感知到的其他几个小问题，比如真空系统的某个泵的抽速不够，某个阀门的密封圈有微小的泄漏等等。
王敏东和他的团队成员们，已经从最初的震惊，变成了彻底的崇拜。
他们拿着本子，疯狂记录著李墨舟说的每一个字，生怕漏掉一个细节。
在他们眼里，这位年轻的李总，简直不是凡人，他对技术的理解，已经深入到了他们无法企及的原子层面。
几个星期之后，李墨舟正在办公室里看新车型的设计方案，办公室的门被敲响了。
王敏东几乎是冲进来的，他满脸通红，因为激动，连话都说不利索了。
“李李总！做做出来了！”
“什么做出来了？”李墨舟放下手里的平板，笑着问。
“光子筛！我们那个euv光刻机的光子筛光学系统，按照你的方案，做出来了！”王敏东把一份测试报告拍在李墨舟的桌子上，手指著上面的数据，声音都在颤抖。
“李总你看！！分辨率，根据初步测试，可以达到4纳米！”！我们这个，比他们还强了好几倍！我们做出来了，我们真的做出来了！”
李墨舟拿起报告，平静的看着上面的数据。一切都在他的预料之中。
他笑着站起来，拍了拍王敏东的肩膀。
“哦哦，好，李总这边请。”王敏东如梦初醒，赶紧带着李墨舟去了另一个加工车间。
李墨舟看到了正在工作的电子束光刻机和反应离子刻蚀机。
他的神识再次散开，笼罩了整个加工过程。
他的神识感觉到，电子束光刻机在往基底材料上加工时，高速的电子打到材料上，发生了散射。就像拿个很粗的水管往沙地上喷水，水花会溅到旁边去。
结果就是，本来想画得很近的两条线，因为电子散射互相影响，结果糊在了一起，或者变形了。
他又用神识去感知反应离子刻蚀的过程。
他发现，设备里用的气体，是纯的四氟化碳。他能感知到到，四氟化碳的等离子体，像一群饿狼一样，疯狂的攻击著材料，不仅向下挖，还向侧面乱啃。
结果就是，刻出来的小孔，孔壁不是光滑的，而是像锯齿一样，坑坑洼洼的。这也造成了孔壁也不是垂直的，而是倾斜的，有88度。
这对需要垂直入射的光来说，简直是致命的。很多光线直接就被这个倾斜的、粗糙的孔壁给反射到别处去了，根本无法按照设计的路径去衍射。
“工艺也有问题。”李墨舟皱起了眉头，对王敏东说。
“你们这个电子束光刻，邻近效应校正没做吧？你看刻出来的东西，边缘都是糊的。”
王敏东一惊，这是个很细节的问题，李总怎么一眼就看出来了？他有些不好意思地点点头：“是是没做，时间都花在反射镜系统上了，光子筛这边没怎么优化。”
“那做一个校正模型，把euv的波长、基底的材质这些参数输进去，让电脑自动计算每个点的电子束剂量。这不难吧？”
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“刻完之后，再加一道工序。用氩离子束去轰击表面，能量不用太高，50电子伏特就行，轰个30秒。这就像用极细的砂纸最后打磨一下，把孔壁上那些残留的原子和毛刺都给清理干净。”
李墨舟一口气说完了他感知到的所有问题和解决方案。他又指出了神识感知到的其他几个小问题，比如真空系统的某个泵的抽速不够，某个阀门的密封圈有微小的泄漏等等。
王敏东和他的团队成员们，已经从最初的震惊，变成了彻底的崇拜。
他们拿着本子，疯狂记录著李墨舟说的每一个字，生怕漏掉一个细节。
在他们眼里，这位年轻的李总，简直不是凡人，他对技术的理解，已经深入到了他们无法企及的原子层面。
几个星期之后，李墨舟正在办公室里看新车型的设计方案，办公室的门被敲响了。
王敏东几乎是冲进来的，他满脸通红，因为激动，连话都说不利索了。
“李李总！做做出来了！”
“什么做出来了？”李墨舟放下手里的平板，笑着问。
“光子筛！我们那个euv光刻机的光子筛光学系统，按照你的方案，做出来了！”王敏东把一份测试报告拍在李墨舟的桌子上，手指著上面的数据，声音都在颤抖。
“李总你看！！分辨率，根据初步测试，可以达到4纳米！”！我们这个，比他们还强了好几倍！我们做出来了，我们真的做出来了！”
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这对需要垂直入射的光来说，简直是致命的。很多光线直接就被这个倾斜的、粗糙的孔壁给反射到别处去了，根本无法按照设计的路径去衍射。
“工艺也有问题。”李墨舟皱起了眉头，对王敏东说。
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他的神识再次散开，笼罩了整个加工过程。
他的神识感觉到，电子束光刻机在往基底材料上加工时，高速的电子打到材料上，发生了散射。就像拿个很粗的水管往沙地上喷水，水花会溅到旁边去。
结果就是，本来想画得很近的两条线，因为电子散射互相影响，结果糊在了一起，或者变形了。
他又用神识去感知反应离子刻蚀的过程。
他发现，设备里用的气体，是纯的四氟化碳。他能感知到到，四氟化碳的等离子体，像一群饿狼一样，疯狂的攻击著材料，不仅向下挖，还向侧面乱啃。
结果就是，刻出来的小孔，孔壁不是光滑的，而是像锯齿一样，坑坑洼洼的。这也造成了孔壁也不是垂直的，而是倾斜的，有88度。
这对需要垂直入射的光来说，简直是致命的。很多光线直接就被这个倾斜的、粗糙的孔壁给反射到别处去了，根本无法按照设计的路径去衍射。
“工艺也有问题。”李墨舟皱起了眉头，对王敏东说。
“你们这个电子束光刻，邻近效应校正没做吧？你看刻出来的东西，边缘都是糊的。”
王敏东一惊，这是个很细节的问题，李总怎么一眼就看出来了？他有些不好意思地点点头：“是是没做，时间都花在反射镜系统上了，光子筛这边没怎么优化。”
“那做一个校正模型，把euv的波长、基底的材质这些参数输进去，让电脑自动计算每个点的电子束剂量。这不难吧？”
他又指著反应离子刻蚀机：“还有这个刻蚀，不能用纯的四氟化碳。你们在气体里加点氧气，比例大概是cf?比o?，3比1。氧气可以在侧壁形成一个保护层，让等离子体只能往下刻，不能乱啃旁边。这样孔壁的垂直度就能上来。”
“刻完之后，再加一道工序。用氩离子束去轰击表面，能量不用太高，50电子伏特就行，轰个30秒。这就像用极细的砂纸最后打磨一下，把孔壁上那些残留的原子和毛刺都给清理干净。”
李墨舟一口气说完了他感知到的所有问题和解决方案。他又指出了神识感知到的其他几个小问题，比如真空系统的某个泵的抽速不够，某个阀门的密封圈有微小的泄漏等等。
王敏东和他的团队成员们，已经从最初的震惊，变成了彻底的崇拜。
他们拿着本子，疯狂记录著李墨舟说的每一个字，生怕漏掉一个细节。
在他们眼里，这位年轻的李总，简直不是凡人，他对技术的理解，已经深入到了他们无法企及的原子层面。
几个星期之后，李墨舟正在办公室里看新车型的设计方案，办公室的门被敲响了。
王敏东几乎是冲进来的，他满脸通红，因为激动，连话都说不利索了。
“李李总！做做出来了！”
“什么做出来了？”李墨舟放下手里的平板，笑着问。
“光子筛！我们那个euv光刻机的光子筛光学系统，按照你的方案，做出来了！”王敏东把一份测试报告拍在李墨舟的桌子上，手指著上面的数据，声音都在颤抖。
“李总你看！！分辨率，根据初步测试，可以达到4纳米！”！我们这个，比他们还强了好几倍！我们做出来了，我们真的做出来了！”
李墨舟拿起报告，平静的看着上面的数据。一切都在他的预料之中。
他笑着站起来，拍了拍王敏东的肩膀。