忙完了回门那些事儿,第二天天还麻麻亮,我这心里就跟揣了只小兔子,“砰砰”直跳,迫不及待地就扑到了光刻机研发的这档子大事儿上。本来嘛,去中科学院物理研究所还得再等上几天,毕竟那是科研的“大衙门”,流程安排严得象铁桶。可我这急性子,哪等得了呀,心里头就跟揣了把火,“噌噌”地烧,催着我赶紧动身。好嘞,我跨上那辆陪我风里来雨里去多年的自行车,“嗖”地一下,就朝着中科院物理研究所的方向冲去。
一路上,微风轻轻挠着我的脸,仿佛在给我加油打气:“加油啊,何雨柱!”。我就一门心思赶路,满脑子都是即将开启的科研大冒险,兴奋得不行。
到了研究所门口,我“吱呀”一声刹住车,赶紧整了整有点皱巴的衣角,深吸一口气,给自己打气:“稳住,何雨柱,你能行!”然后雄赳赳气昂昂地朝着大门走去。
“同志,这儿是管制地区,请您麻溜儿地离开。”门口门卫板着脸,一脸严肃地把我拦下。
“同志,我是来找施院长的。我叫何雨柱,轧钢厂食堂主任,是大 领导介绍我来的。”我赶忙说明来意,眼神里那坚定和期待,就跟饿狼瞅见肉似的。
门卫一听,赶紧撒腿往岗亭跑,没一会儿又跑回来,让我做了个登记,接着派了个小年轻带我进去找施所长的办公室。
我轻轻敲敲门,里面传来施所长沉稳的声音:“进来。”
我推开门,规规矩矩地走进去,双手抱拳,脸上堆满真诚的笑:“施所长,您好啊!我是何雨柱,大 领导介绍我来的。”
施所长抬头瞧了我一眼,放下手中正翻得“哗哗”响的文档,热情地招呼我坐下:“柱子啊,快坐下唠唠。大 领导没少在我耳边夸你,说你脑瓜灵、干劲足。今儿个来找我,啥事儿啊?快说说。”
我坐直身子,一本正经地说道:“施所长,您瞧啊,现在国家大力发展工业,各种电子设备那是越来越吃香,芯片在里面可起着定海神针的作用。而光刻机,那可是芯片制造的‘心脏’,重要性就没得说。现在国内还没成熟的光刻机产品,可我研究了老长时间,觉着只要咱们心往一处想、劲往一处使,肯定能把这玩意儿研制出来,给国家科技发展添砖加瓦。”
施所长听了,皱了皱眉头,手指在桌面上“哒哒哒”敲个不停,琢磨了一会儿,说道:“柱子啊,你这想法是挺好,可研制光刻机哪有那么容易啊!这事儿涉及光学、机械、电子、材料等好多学科专业知识,咱国内工业基础本来就薄弱,好多关键技术才刚起步。而且还得有先进设备和充足资金支持。不过呢,你有这决心和热情,我挺欣赏。我这就安排所里专家跟你好好唠唠,看看这事儿到底能不能行。”
“太好啦,施所长!有您支持,还有专家们帮忙,我信心爆棚!”我兴奋得脸都红了,仿佛已经看到光刻机成功研制,闪闪发光的模样。
随后,施所长安排了几位物理研究所的资深专家,和我一起走进会议室,开启了“头脑风暴”大会。
会议刚开始,一位头发花白的老专家推了推眼镜,一脸严肃地说:“柱子啊,光刻机这玩意儿,技术含量高得离谱。就说光学系统,要实现高精度光刻,得精确控制光线传播路径和聚焦效果。咱国内光学组件制造技术有限,很难造出符合要求的高精度透镜和反射镜。而且光刻过程中,光线经过多次反射折射,会产生各种像差,像球差、彗差啥的,这些象差会让图案变形,光刻精度大打折扣。”
我耐心解释道:“各位专家,我知道困难像座大山,可咱不能被吓倒。我发现可以从现有的光学设备入手,稍微改进优化一下。比如说,用些简单的光学调整设备,微调光线的传播角度和聚焦位置,尽量减少像差影响。光源方面,现在虽然没先进的极紫外光源,但咱有高压汞灯,它发射的紫外线波长在 365 纳米左右,虽说比不上更短波长的光源,但只要合理聚焦和曝光控制,还是能满足一定光刻须求的。我估算了下,通过优化光路,再选个合适的光刻胶,在一定曝光条件下,能实现大约 5 微米左右的光刻分辨率。”
这时,一位年轻专家皱着眉头,指着资料上光刻掩膜版部分说:“掩膜版制造难度可不小啊。没有高精度绘图设备和蚀刻技术,很难做出精细图案。而且普通玻璃材质容易变形,光刻过程中哪怕有一丁点儿变形,都会影响图案准确性,芯片制造就得跟着遭殃。就象我之前参与的一个小型光刻项目,就因为掩膜版变形,刻出来的线条粗细不均匀,后续工序全乱套了。”
我摸着下巴,沉思片刻:“关于掩膜版,我觉得可以先用玻璃干版制作基础掩膜版。虽然精度有限,但能满足初步实验须求。咱可以用精细的划线工具,比如高精度刻线刀,在玻璃干版上好好绘制图案。为防止变形,可以在玻璃背后加个支撑结构,或者对玻璃进行特殊退火处理,提高它的稳定性。图案画好之后,利用化学蚀刻技术,把不需要的部分腐蚀掉,形成精确图案。”
在讨论光学系统中镜头的设计时,又有专家发话了:“现有的国产镜头,在消除像差方面做得那叫一个差劲。光线经过镜头后,成像模糊不清,特别是高倍率放大时,像散和彗差问题严重,这刻出来的图案变形,芯片质量根本没法保证。就象一些老式相机镜头,放大照片时画面边缘变形得厉害,这在光刻机上可绝对不允许。”
我结合之前收集的资料,说道:“咱可以尝试采用简单的非对称透镜组合,替代传统对称结构的镜头。就拿高压汞灯发出的光来说,它的光谱分布有特点,咱根据这个特点,选不同曲率和折射率的透镜合理搭配。通过调整这些透镜之间的间距和角度,改变光线折射路径,减少像差。同时,对镜头进行精细的光学镀膜处理,增强透光性,减少反射,提高光能利用率。按我初步设想,经过这样优化,光刻分辨率有望提高到 3 微米左右,虽说离国际先进水平还有差距,但也是不小进步啊。”
就这样,激烈又有序的讨论持续升温。专家们各抒己见,不断抛出问题,我也积极回应,阐述自己的想法思路。
不知不觉到了中午,大家讨论得热火朝天,连午饭都顾不上吃。最后还是食堂工作人员把盒饭送到会议室门口,我们一边啃着饭,一边还热烈讨论着。
经过一下午的“激战”,专家们最终达成一致意见,同意和我携手开展光刻机研制工作。大家一合计,给这台新研制的光刻机起了个响亮名字——“曙光”。咱就盼着它能如破晓之光,成为华夏高科技腾飞的翅膀,引领中华科技迈向辉煌,成为中华发展的希望之光。咱这研究,注定要在华夏科技史上留下浓墨重彩的一笔,以后那些依赖佳能光刻机技术的日子,就一去不复返喽!
等把这一切都敲定,已经到了深夜。施所长要留我在这住下,可我担心张新英担心我,还是决定回四合院。可我哪想到,我走了之后,施所长给 伍豪先生打了个电话,把这边情况一五一十说了。
第二天早上,天还没完全亮透,天空刚泛起一丝鱼肚白,我还在美梦里跟周公下棋呢,就被一阵急促敲门声和门卫那热情的大喊声惊醒:“何先生,快起来,伍豪先生派人来接您啦!”
我一激灵,瞬间清醒,心里又紧张又兴奋,像揣了只小鼓“咚咚”直跳。连忙穿上衣服,随便洗漱一下,就跟着来人匆匆往 伍豪先生住处赶。
一路上,我都在心里打腹稿,琢磨着等会儿咋跟首 长说。车子很快在一处宁静又庄重的院落前停下,我怀着忐忑心情下了车,跟着工作人员走进院子。
没一会儿,我被带到首 长书房。伍豪先生正坐在书桌前,专注看文档。看到我进来,他笑着放下文档,示意我坐下,说道:“柱子啊,你为了国家的事儿这么上心,一大早就把人从被窝里揪起来,辛苦你啦。不过你先别慌,我知道你有重要事儿,我特意挤出 20 分钟好好跟你唠唠。”
我赶忙起身,躬敬回应:“首 长,这是我应该滴,能为国家出份力,别说 20 分钟,就算一天一夜我都不嫌累!”
伍豪先生接着说:“柱子啊,你一次次给我惊喜。你拿来的那些资料,我都仔细看过,尤其是你给这光刻机项目起的名字——‘曙光’,简直太妙啦!现在国际形势严峻,国外对我们封锁得紧,这些高端技术就象卡在咱脖子上的大铁锁,严重制约咱国家工业发展。你研制的这台光刻机,承载着咱国家工业崛起的希望,我盼着能尽快把这‘曙光’研制出来,让它成为照亮我华夏民族崛起之路的明灯。党和人民会一直挺你,你只管大胆往前冲,有啥困难尽管提!”
我赶忙起身,双手握拳,信誓旦旦:“谢谢首 长支持!我一定玩儿命干,绝不姑负首 长和人民的期望!”
伍豪先生微微点头,笑着问:“柱子,你还需要咱这些老家伙给你做点儿啥不?”
我摸着脑袋,想了想说:“首 长,我目前最需要一批高级技工和一些经验丰富的高级工程师。光刻机研制是个复杂系统工程,得各方面专业人才紧密配合。高级技工能确保各个零部件精密制造和装配,高级工程师凭他们丰富经验,能解决研发过程中的各种技术难题。”
正说着,突然听到轻轻敲门声。没等我反应过来,门就“吱呀”一声推开。进来一位面容和蔼又透着威严的人,我一瞧,顿时傻眼,竟然是李先生!我嘴巴张得老大,原本准备好的话全卡喉咙里,一下子懵圈了。
伍豪先生笑着起身,亲切地跟教员唠起来。这时,教员注意到我这窘态,微笑着看我:“何雨柱同志,2 号跟我详细讲了你的情况。你在光刻机研制这件事上的决心和勇气,让我看到咱中华未来的希望。你是中华的栋梁,会是华夏龙魂的一员。有你们这些充满热血和智慧的‘龙魂’在,咱中华就有了坚实的魂,有了向前奋进的力量,咱华夏人民就能挺直腰板,骄傲地站起来!在此,我代表全国人民感谢你!”
我紧张得结结巴巴:“李先生,您说得太严重啦,我真的没那么好。我就是觉得自己作为华夏人,有责任为国家的科技发展出份力。而且,我还有好多不足的地方,得向各位首 长和前辈多多学习。”
李先生微笑着摆摆手:“谦逊是美德,但对自己得有信心。你在这个年纪就有这般胆识和担当,已经相当了不起。在研制的道路上,难免会遇到各种困难和挫折,但你要相信,党和国家是你坚强的后盾,全国人民也会支持你。你只管放开手脚去干,我们都盼着你带来更多惊喜!”
我重重地点了点头:“是,李先生!我一定会努力的,绝不姑负首 长和您的期望!”
“何雨柱同志,原本呢,2 号跟我提议,在你大婚之后,给你安排个合适的场子,让你练练手,积累些实际经验。毕竟你展现出的才能和决心,实在让人惊喜,我也想给你机会好好施展一番。”李先生目光温和且带着几分期许地看着我,语重心长地说。
我赶忙起身,躬敬回应:“感谢首 长的信任,我一定不姑负这份期望,努力为国家做贡献。”
李先生微微点头,继续说道:“可谁能想到,你这又拿出两项重磅炸弹啊!一项是光刻机项目,命名为‘曙光’,这对我国工业发展意义非凡;另一项……”李先生故意停顿一下,看着我,嘴角微微上扬,“你自己说说,还有什么重大发现?”
我有点不好意思地说:“首 长,我确实还有个关于新型材料的研究,我命名为‘华夏钢’,这种材料的各项性能指标都有大幅提升,如果应用到国防、工业等领域,定能发挥巨大作用。”
李先生满意地笑了笑:“柱子,你的能力和创新精神让我深感欣慰。我决定,向你开放我最近在筹划的一项绝密工程。我希望能借助这个工程,让咱华夏更好地站起来,屹立于世界强国之林。”
伍豪先生微微皱眉,脸上露出惊讶神色,脱口而出:“1 号,你该不会是想要给他开放长城计划吧?”