“出来了!出来了!”一个年轻研究员举着一张图谱,激动地冲到秦雪面前,“秦师姐,你看这个峰!杂质含量低于十亿分之五!”
秦雪接过图谱,快步走到沉教授身边,声音因激动而微微颤斗:“沉教授,成了!用了您的仪器,我们终于能精确分离并检测‘p’型配方里那几种致命的金属离子了!纯度……纯度真的达到了五个九!”
沉永华扶了扶老花镜,看了一眼图谱,脸上露出一丝不易察觉的微笑:“仪器只是工具,能想到用‘二次萃取-低温结晶’法来配合分析,是你们的本事。去吧,让那帮搞机械的小子们看看,什么叫世界级的材料!”
“那是自然!”秦雪挺直了腰板,她小心翼翼地捧着一个装着淡黄色粘稠液体的棕色玻璃瓶,走向实验室中央。
在那里,张伟正站在拆解一新的东德刻蚀机前。几个月前,这台老旧机器还象个锈迹斑斑的废物,如今,在付成的图纸和林为民教授的指导下,它已经焕然一新,金属外壳擦得锃亮。
“张伟,接货!”秦雪的声音里充满了底气。
“好嘞!”张伟咧嘴一笑,搓了搓手,“秦师姐,这次要是再不成,可赖不着你的光刻胶了啊!”
所有人的目光都汇聚到了付成身上。钱立人教授、林为民副教授,还有闻讯赶来的任飞,大家都屏住了呼吸。万事俱备,只等总指挥发令。
“开始吧。”付成点点头,表情严肃,“老规矩,张伟,先走一遍真空和预处理流程。”
“收到!”
机器发出低沉的嗡鸣,各项数据显示正常,甚至比预想的还要好。张伟熟练地将一片6英寸硅片上片、涂胶。随后,付成亲自操作那台“微型投影仪”,进行曝光。
“显影!”
机械臂将硅片浸入显影液中。这一次,所有人都充满了信心。
他们有了最好的材料专家,有了纯度最高的化学试剂,还有一台经过极限改造的机器。
显微镜连接着老旧的显示器,张伟第一个凑了上去。
“我靠!”
一声惊呼。张伟猛地后退一步,脸色煞白,难以置信地看着屏幕。
“怎么了?又不行?”钱立人教授的心一下子提到了嗓子眼。
“不……不是不行……”张伟的声音有些发干,“有图形,比上次清淅……但是……但是线条全是毛刺,而且……上面有很多……很多奇怪的‘麻点’!”
付成和秦雪立刻挤了过去。
屏幕上,电路的轮廓确实出来了,但本该平滑的线条边缘像狗啃过一样,布满了微小的锯齿。
更奇怪的是,在没有电路的空白局域,竟然散布着无数细小的黑点,象是被腐蚀过一样。
“这不可能!”秦雪第一个失声喊道,“我的光刻胶纯度绝对没问题!五个九!沉教授亲自验证过的!怎么会有这种随机的腐蚀点?”
张伟也急了:“机器我也检查了,真空度、管线、内衬,都是按你的图纸来的,绝对没问题!”
实验室里刚刚还高涨的气氛瞬间跌入冰点。失败并不可怕,可怕的是找不到原因的失败。这种诡异的“麻点”,超出了所有人的知识范畴。
就在众人一筹莫展之际,一个苍老而沉稳的声音响起。
“把那块硅片取下来,给我。”
沉永华不知何时走到了他们身后。他没有看众人,眼睛就盯着屏幕上的“麻点”。
张伟小心翼翼地取出硅片,递了过去。沉永华接过,转身就朝自己那片“宝地”走去:“都跟我来。”
他将硅片固定在一台崭新的扫描电子显微镜(se)的工作台上,开始抽真空。这台电镜,是他从京城某研究所软磨硬泡“借”来的宝贝,也是整个实验室最精密的眼睛。
很快,显示器上出现了放大一万倍的图象。
在那个微观世界里,所有人都倒吸了一口凉气。
原本屏幕上只是模糊的“麻点”,此刻变成了清淅可怖的“陨石坑”!每一个坑洞的中心,都有一个极其微小的、发出不同亮光的颗粒物。
“看到了吗?”沉永华指着屏幕,“这不是化学腐蚀,这是物理轰击!是等离子体在刻蚀过程中发生了‘辉光放电’,把你们那个‘z’合金内衬腔体里的金属原子,像炮弹一样打了出来,砸在了硅片上!”
他切换到能谱分析模式,一条条谱线跳出。
“看到了吗?这些亮点,成分是‘z’合金里的铬和镍!你们的光刻胶是完美的,但你们的机器,在杀掉你们的芯片!”
沉永华的分析,劈开了所有的迷雾。问题不是出在软件(化学品)上,而是出在硬件(机器)最内核的运行机制上!
林为民教授喃喃道:“等离子体辉光放电……这是因为腔体内的电场不均匀,或者气压出现了瞬时波动……”
“是的。”付成终于开口了,他的眼神无比锐利,仿佛已经看到了那头失控的野兽。
“沉教授为我们找到了病根。这台机器,我们用尽了办法去改装它的身体,但它的‘神经系统’太老旧了。它无法感知到万分之一秒内电场的变化,也无法察觉到千分之一帕的气压脉动。这些我们根本检测不到的微小波动,在微观世界里,就是一场场灾难性的风暴。”
“那……那该怎么办?”张伟焦急地问。
“给它换一套现代化的‘神经系统’。”付成转身,走到白板前,写下几个词。
“高精度压力传感器,响应速度要达到毫秒级。”。”
“还有,一个能连接这一切,并进行实时运算和调整的计算机控制单元。”
“这……”张伟喃喃道,“这简直就是……自动化工业的顶配了。”
“国内现在,有这样的设备吗?”钱立人教授问。
付成沉默了片刻,脑海里闪过系统数据库中的信息。
“现成的,没有。但有一个地方,一定能找到我们需要的东西,或者找到能提供这些东西的人。”
他转过身,目光扫过每一个人,最后重重地说道:
“香江。那里的电子展,马上就要开始了。”